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原标题:□等离子蚀刻机运用仿单

浏览次数:79 时间:2020-03-27

  设 备 使 用 说 明 书 筑造名称□□□□:等离子蚀刻筑造 □□□□: 筑造型号: KWT-200-1000FSK 北京中联科利工夫股份有限公司 Beijing China United Cleaning Technology Co.,Ltd. 地点□□□□:北京市朝阳区北苑道 40# 邮编□□□□:100012 电话 传真 目 录 一、概述…………………………………………………………………………… 二、闭键工夫目标………………………………………………………………… 三、事务道理及布局特点………………………………………………………… 四、工艺性格及操纵重点………………………………………………………… 五、利用声明…………………………………………………………………… (一) 、塾悉本机原料 …………………………………………………………… (二) 、开机前的绸缪 …………………………………………………………… 六、操作声明 …………………………………………………………………… 七、利用留神事项………………………………………………………………… 八、浅易阻碍与消释……………………………………………………………… 九、筑造呆滞闭键图纸…………………………………………………………… 十、筑造电控道理图 …………………………………………………………… 一 、 概 --2-- 述 1.1 产物特性 KWT-200-1000FSK 型等离子体刻蚀机具有占地面积小、装片容量大、出产率上等好处。 同时□□□□,还具有手动/自愿性能。除装卸片要人工操作外□□□□,其余历程杀青了全自愿□□□,确保了工艺 确切实性和反复性□□□□,大大地普及了产物格料。 1.2 打算主意、打算道理 该筑造闭键用于太阳能电池周边掺杂硅的刻蚀□□□□,也可用于半导体工艺中众晶硅、氮化硅 的刻蚀和去胶。 道理□□□□:等离子体刻蚀是采用高频辉光放电响应□□□□,使响应气体激活成活性粒子□□□,如原子或逛离 基□□□,这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位□□□□□,正在那里与被刻蚀原料举行响应□□□□□,变成挥发性天生物 而被去除。它的上风正在于急速的刻蚀速度同时可取得杰出的物理样子 。 (这是各向同性响应) 正在辉光放电条款下□□□□, CF4→C4++4FO2→2O2F+Si→SiF4 SiF4 挥发性高□□□□□,随即被抽走。 刻蚀历程的闭键响应 放电历程 e-+CF4→CF3+F+ee-+CF4→CF3++F+2e e-+CF3→CF2+F+eO2+e-→2O+e侵蚀历程 3Si+4CF3→4C+3SiF4↑ 2C+3O→CO↑+CO2↑ Si+4F→SiF4↑ 二、 闭键工夫目标 --3-- 我公司研制的等离子体刻蚀机规格□□□□: CUCKWD-SK-200 CUCKWD SK 200 2.1 2.2 2.3 刻蚀介质□□□: 刻蚀部位□□□: 产能 最大装片量□□□□: 刻蚀速度□□□□: 400 片/批 Si3N4 掺杂硅 批管理时代□□□□□: 2.4 2.5 2.6 射频电源 气道编制 线 道质料流量计、1 道浮子流量计 程序筑设 3 道工艺气体通道; 2X-15呆滞泵□□□,事务压力自愿操纵; 本底线 mbar; 工艺压强□□□:0.5~2mbar; 2.7 2.8 2.9 电源 周边刻蚀平均性 筑造牢靠性□□□□: 3PH□□□,380V□□□,50HZ□□□,4KVA ±5% 筑造均匀维修间隔时代 MTBF≥500 小时; 筑造均匀维修时代 MTTR≤4 小时。 50nm/min 200nm/min 中联科伟达高新转换产物 等离子体蚀刻机 基片最大直径 200 ㎜ 5〞、6〞 掺杂硅/氮化硅 硅片方片周边 三、 事务道理及布局特点 --4-- 3.1 总体布局 本筑造由刻蚀编制、抽空编制、回旋编制、高频电源、成家器等个别构成□□□□□,如下图□□□□□: 3.2 筑造编制图 响应室采用立式布局□□□□,射频功率通过电感耦合到响应室内□□□,同时基片采用回旋方法□□□□, 确保周边刻蚀平均。 真空编制采用旋片式呆滞泵□□□,具有主抽和预抽两道抽气管道□□□□□,既确保本 底抽空的时代□□□□□,又负气氛扰动减小□□□,裁减粉尘扬起□□□□□,确保基片明净。送气编制通、气绝均采 用电磁阀操纵□□□,工艺气体采用质料流量计操纵□□□,牢靠性高□□□□,反复性好。片架可回旋□□□□,普及了 --5-- 刻蚀的平均性。射频电源的频率和功率不乱□□□□□,并有阻抗成家器可确保射频输出功率简直完整 耦合到响应室内。电气操纵具有手动/自愿操纵性能□□□□,正在手动状况下□□□□,能够真空检漏□□□,不行进 行工艺试验。采用 PLC 举行工艺自愿操纵□□□,牢靠性高□□□,不乱性好。各电气元器件均采用插装 式□□□,便于维修和调换。 四、工艺特点及操纵重点 4.1 工艺 闭键由以下几个流程构成□□□: 运转开 运转闭 装片 预抽—主抽—送气—辉光—抽空—洗濯—充气 取片 4.2 工艺声明 ① ② 预抽□□□□□:闭键通过预抽电磁阀□□□□□,将响应室的氛围抽走□□□,压力仍旧正在 0.01MPa 以下; 主抽□□□□□:闭键通过主抽电磁阀和电子施行器(微调气压安装) □□□□,将响应室的气压仍旧正在 10Pa 旁边; ③ 送气□□□□:闭键将辉光必要的气体 CF4 和 O2 送到响应室□□□□□,该历程响应室的气压不乱正在 100Pa 旁边;此状况为动态均衡□□□□,即通过送气编制流量与抽气速率的成家□□□□□,维 持 100Pa 的真空压力。 ④ 辉光□□□□□:通过射频爆发安装□□□,使硅片和 CF4、O2 响应□□□□□, □□□□,对硅片切面角落举行化学侵蚀□□□□, 到达角落蚀刻主意□□□,该历程响应室的气压仍旧正在 100Pa 旁边; 正在辉光放电条款下□□□□□: CF4→C4++4FF+Si→SiF4 ⑤ ⑥ ⑦ O2→2O2SiF4 挥发性高□□□,随即被抽走。 抽空□□□□:辉光罢了后□□□,将残留正在响应室的各类气体抽走; 洗濯□□□□□:通适量的 N2 将残留正在响应室的 CF4、O2 等气体洗濯出响应室; 充气□□□□:通适量的 N2 将响应室内的气压调解到外部的气压□□□, 将外里气压调解到完整一 致□□□□□,便于开盖装取硅片。 4.3 操纵重点 1) 闭键通过 PLC 来杀青对筑造的开闭(预抽/主抽/抽气/放气等电磁阀)举行量 --6-- (时代)的操纵□□□□□,工艺气体流量(CF4、O2 模仿量读写)设立及显示、压力(模 拟量)设立及实质值的及时显示; 2) 该筑造有个环节点是□□□,正在送气、辉光几个工艺举行的历程中□□□□,响应室 的气压不 能过高也不行过低□□□□,要不乱正在 100Pa 旁边;为了杀青这脾气能□□□,闭键通过一个气 压的微调安装(电子施行器)来操纵□□□□,行使 PID 模仿量操纵来到达精准而 不乱气 压的预期值; 3) 全面历程通过行使模仿量的读写□□□□□,与 PLC 的通信举行精准操纵□□□□,确保硅片蚀刻 的精度和筑造的不乱性; 4) 同时设有可操作的触摸屏□□□□,客户可遵照自己的工艺特性举行性格工艺的设定。 5.事务境遇与装配恳求 5.1 事务境遇 a)境遇温度□□□□□:5℃~40℃; b)相对温度:70%; c)境遇净化品级□□□□:优于 10000 级; d)大气压强□□□□:86kPa~106kPa; e)电源□□□:三结交流 380(1±10%)V □□□□□,频率 50(1±1%)Hz; f)所用工艺气体压力□□□:工艺气体□□□□□: N2□□□□□:纯度 99.999%(推举) □□□□,0.1~0.2MPa□□□,最大流量 1000mL/min; CF4□□□□:纯度 99.999%(推举) □□□□□,0.1~0.2MPa□□□□,最大流量 300mL/min; O2□□□□:纯度 99.999%(推举) □□□□,0.1~0.2MPa□□□,最大流量 30mL/min; 压缩氛围压力□□□□:0.3MPa~0.6 MPa; g)有杰出的接所在,接地电阻小于 4Ω。 H)排废□□□□:响应室架、呆滞泵上均恳求有负压抽气口;总抽气速度≥2000L/min。 5.2 装配 5.2.1 净化品级高于 1 万级的净化厂房内□□□□□,面积□□□□□:2.4×(1.8+0.6),此中净化区面 积□□□□:2.4×1.8m2 灰区面积:2.4×0.6m2。 5.2.2 具有呆滞泵尾气排放通道□□□,Φ45×1.5 的软管贯串;具有臭氧排放、抽气通 道□□□□,内径 Φ100 的不锈钢管道贯串。 5.2.3 筑设 N2、CF4、O2、压缩氛围(气动阀用)工艺气体□□□□,N2、CF4、O2 接口为 1/4□□□□□, (外径)外里扔光不锈钢管□□□□,与筑造相连一端盘成约 Φ200mm 圆一圈后再 --7-- 留出约 300mm 长直管□□□□,1974年等离子蚀刻机工艺气体压力 0.1MPa~0.2MPa;压缩氛围进气管道 为外径 Φ6mmPVC 软管□□□□,压力为 0.3MPa~0.5MPa; 。 5.2.4 三相+中相+地线□□□□□,高频电源独立即线Ω。 五 使 用 说 明 (一) 、熟识本机原料 1、 整机布局示图谋□□□□,睹附图一 、 2、 电道理图□□□,睹附图二 、 (二) 、开机前的绸缪 1、 检验呆板是否装妥□□□,将通盘的支柱脚旋下□□□□□,将呆板调至程度地方; 、 2、 将通盘电源开闭及电器开闭置于“闭”的地方□□□,检验电源是否合乎恳求□□□□,机壳接地是 、 否牢靠□□□□□,射频电源独自接地是否已施行□□□□□,且接地电阻4Ω; 3、 检验供气与排气管道贯串是否精确□□□□,检验各供气压力是否正在法则值内; 、 4、 当总电源调度或相序转移时□□□□□,请先卸下真空泵传送带□□□□,确认好电机偏向本事运转□□□□,否 、 确认好电机偏向本事运转□□□□, 确认好电机偏向本事运转 则真空泵反转□□□□,将可以导致损坏真空泵的重要后果 则真空泵反转□□□,将可以导致损坏线、 检验真空泵油面窥察窗口□□□,当油面低于程序或较污染时□□□□□,会影响真空泵运转机能□□□□,请 、 增加或调换同型号真空泵油; 六 操 作 说 明 图 A.下图为筑造电气操纵元件底板漫衍简图□□□□□: --8-QF0 QF1 QF2 KM1 KM2 FR1 FU1 FU2 FU3 1 、 QF0 、 QF1、QF2 为总电源 氛围开闭 和操纵电 源断道器; 图 B.下图为筑造操作面板各部件性能及感化□□□: 触摸屏 3. 此 红 色 电 源 停 止按钮开闭赤色 指示灯正在总空开 闭合后该当显示! 不然请检验总电 源是否翻开或外 部电源是否接 通!! 电源启动 电源截至 手动 自愿 自愿运转 报 警 急 停 1.触摸屏□□□□: 操纵筑造 的人机界 面□□□□□! 6.报警器:为声 光报警器□□□□□, 正在设 备阻碍或工艺 周期完毕时给 作声光报警提 示□□□□□! 7.急停开闭□□□□□: 为筑造爆发突 发情况时□□□□□,按 下使编制截至 1、开启筑造的外部总电源空开□□□□□,然后翻开筑造内部总电源开闭□□□,如本节图 A-1 事务□□□□,平常情 所示各空开。 4.此挑选开闭为设 5.自愿运转开闭□□□: 为 况下为旋起状 最终将外围供气阀门全面翻开□□□,并检验各压力是否正在平常领域内; 备“手动/自愿”运 筑造自愿运转形式 态。 转形式转换开闭 下的启动开闭 2、目视“电源截至”按钮赤色指示灯是否亮灯□□□□□,如无亮灯□□□,则应检验外部电源和内部电源空 --9-- 2.操作电源 启动按钮 开闭□□□□! 气开闭是否翻开。如亮灯□□□,即可开启“电源启动”按钮(如本节图 B-1 所示按钮开闭) □□□□, 此时“电源启动”按钮绿色指示灯应亮灯□□□,触摸屏应显示如下图 LOGO 画面后约 6 秒进入 编制主画面;确认编制射频电源的的黄色开闭是否开启及亮灯□□□□□,射频电源进入约 5 分钟的 预热;预热完毕时□□□□□,射频电源的赤色按钮给出亮灯提示□□□□□,筑造即可进入事务状况□□□□,不然请 勿操作筑造□□□□,待阻碍消释后方可运转; 3.编制主画面如下图所示□□□,闭键显示此刻筑造运转参数及运转状况□□□□:包含自愿运转状况下工 艺举行时代及工艺气体流量参数显示;手动状况下各工艺时代显示为 0 秒; “静音”按钮 为声光报警器蜂鸣时按其可使其止闹; 4.工艺时代及参数设定□□□□□:正在《主画面》中点击“参数设定”按钮□□□,画面切换进入如下图所示 的《参数设定》界面□□□,遵照工艺恳求点击各灰底红字区域即可设定各相应参数; - - 10 - - 5.手动调试操作工艺流程□□□□:将如本节图 B-4 所示的形式挑选开闭挑选置于“手动”状况□□□□□,点 击《主画面》中的“手动操作”按钮□□□□,画面切换进入如下图所示的手动操作界面; (正在此 之前请确认筑造响应室内是否真空未废除□□□□□, 如未废除请按以下 “充气” 工艺流程举行操作□□□, 以能翻开响应室盖为准) ; (1)预抽□□□□□:循序点击翻开如下图所示的触摸屏“真空泵”“预抽阀”和“回旋电机” 按钮□□□□□, 、 翻开后各按钮如下图显示状况□□□□□,筑造将通过预抽电磁阀以较缓的抽速进入预抽线)主抽□□□□:当预抽开启后□□□,呆滞式相对线Mpa(绝对线Mpa) 以下时□□□□,即可翻开触摸屏“主抽阀”按钮□□□□,同时闭塞“预抽阀” 按钮□□□□□,如下图 所示各按钮显示状况;筑造以较速的抽速进入主抽线)送气□□□□:当主抽开启后□□□□□,响应室压力显示为 10Pa 及以下时□□□,点击“送气阀”按钮□□□,编制 以所设定的气体流量将工艺气体 CF4 及 O2 送入响应室□□□□□,如下图所示各按钮显示状 态□□□□□: (此流程中须留神使响应室压力仍旧正在 100Pa 旁边□□□□□,如压力高于程序□□□,可通 过调度数显真空外的开率将电动蝶阀的开度妥善加大□□□□□, 如小于程序□□□, 则妥善裁减□□□, 直至到达程序领域) ; - - 12 - - (4)辉光□□□:当送气开启后□□□,响应室压力仍旧正在 100Pa 旁边时□□□□,点击“辉光”按钮□□□,如下图所 示各按钮开启状况;射频电源绿色按钮运转指示灯亮灯□□□□□,窥察射频电源各参数是 否平常□□□□□,响应室辉光颜色平常时应为乳白色; 辉光时如响应室压力超过设定领域□□□□□,编制会截至辉光□□□□,并弹出如下画面给出提示□□□□,此时应返 回送气流程检验动态均衡是否正在 100Pa 旁边; - - 13 - - (5)抽空□□□□□:当辉光各参数平常后□□□□□,将“送气阀”及“辉光”按钮点击闭塞□□□,仍旧 “真空泵” 和“主抽阀”连接开启□□□,如下图所示各按钮状况□□□□,使辉光后的残留响应气体被抽 出响应室; (6)洗濯□□□□□:当抽空时响应室压力亲近于 10Pa 时□□□□□,将“氮气阀”翻开□□□,如下图所示各按钮状 态□□□□,使氮气进入响应室到达洗濯响应室的方针; (7)充气□□□:当响应室被洗濯后□□□□,将 “真空泵”“主抽阀” 及“氮气阀”按钮闭塞□□□□□,翻开“充 、 气阀”如下图所示各按钮状况□□□□□,对响应室内充氮气到达真空废除、便于开启响应 室盖的方针; - - 14 - - 确认响应室盖可以翻开后□□□□□,将“充气阀”和“回旋电机”按钮闭塞□□□□,进入手动初始状况□□□□! □□□□□! 6.自愿运转操作□□□: (1)请先确认响应室真空是否已废除□□□,然后将如下面所示的形式挑选开闭挑选置于“自愿” 状况□□□,使触摸屏画面显示《主画面》 □□□□□,将待蚀刻工装件放入响应室内的固定座上□□□,并确 认是否安置平整; (2)按下如下图所示“自愿运转”按钮□□□,编制会以所设定的工艺时代&参数自愿完毕各流程□□□□, 并正在完毕后以报警器蜂鸣予以提示;翻开响应室盖后□□□□□,取出工装件; 触摸屏 电源启动 电源截至 手动 自愿 自愿运转 报 警 急 停 1. 将 此 选 择 开 闭 置于“自愿”运 转形式状况。 2.按下“自愿运转“开 闭; 之后的每一轮回周 期只消按此按钮即可。 - - 15 - - 7.正在筑造运转历程中□□□□□,如筑造崭露殷切情况□□□□□,可按下操作面板上的急停按钮□□□,编制会立地停 止事务□□□□□,并弹出如下界面提示;阻碍消释后请将急停按钮旋起□□□□□,筑造本事运转; 8.当编制崭露阻碍报警时□□□□,能够点出触摸界面中的“报警记载” □□□□,编制会弹出如下图界面□□□, 以查看此刻报警项目实时代□□□: 9.编制闭机操作□□□□:与开机操作正好相反□□□,先确认响应室真空已废除□□□□□,然后闭塞操作面板上的 赤色电源截至按钮□□□□□,闭塞外围气体阀门□□□,最终将外部总电源空开闭塞; - - 16 - - 七 利用留神事项 1、 留神开启筑造前□□□,对真空泵偏向不行确依时□□□□,先确郑重空泵电机转向后□□□□,本事运转筑造 、 对真空泵偏向不行确依时□□□□□, 郑重空泵电机转向后□□□□, 对真空泵偏向不行确依时 先确郑重空泵电机转向后 本事运转筑造; 2、 编制的射频爆发安装属严密仪器 、1974年等离子蚀刻机 射频爆发安装属严密仪器□□□□□,当工艺及参数转移时□□□□□,务必由指定庇护职员调度□□□□□, 调 务必由指定庇护职员调度□□□, (调 射频爆发安装属严密仪器 务必由指定庇护职员调度 ( 节板压时□□□,请正在辉光截至时拨动转换开闭) 当校正好各参数后□□□,不要肆意调度□□□, □□□□,当校正好各参数后 节板压时□□□□□,请正在辉光截至时拨动转换开闭) 当校正好各参数后□□□,不要肆意调度□□□□,不然将 □□□□□, 导致损坏射频爆发安装的重要后果□□□! □□□□! 导致损坏射频爆发安装的重要后果□□□!□□□! 3、 因为工装夹具系金属原料□□□,正在往响应室放片、取片时□□□,请留神轻拿轻放□□□□□,避免遭受响应 、 避免遭受响应 室内的石英管; 室内的石英管; 4、按期检验真空泵油面窥察窗口□□□□,当油面低于程序或较污染时□□□□□,请增加或调换同型号线、当筑造处于闭机或待机状况时□□□,请确保响应室真空已废除; 八 浅易阻碍与消释 1、 编制操纵电源不行启动□□□□□,请检验供电电源、操纵线的保障及干系线、 真空泵不行启动□□□□:请检验三相电源是否平常、热继电器是否跳脱及干系操纵线、 响应室真空度或保压达不到恳求□□□□□,请检验真空泵油是否过少□□□□,各管道贯串件是否紧固□□□□, 、 各密封件是否破损; 4、 辉光无法开启时□□□□,请检验功率源黄色按钮开闭是否开启□□□□□,15A 保障管是否已毁灭□□□□,1974年等离子蚀刻机1974年等离子蚀刻机如不 、 能确定阻碍时□□□,请不要肆意开启射频安装外壳□□□□□,通告专业职员维修; - - 17 - - 九 筑造呆滞闭键图纸 - - 18 - - 十 筑造电控道理图 - - 19 - - - - 20 - - - - 21 - - - - 22 - - - - 23 - - - - 24 - -

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